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お客様からのご相談に幅広く対応するため、当社で開発した各種レーザーを搭載した高精度3次元微細加工対応一体型レーザシステム
LaserStationを新たに開発しました。
このLaserStationは、従来よりご好評いただいているグリーン/UVレーザー光源をはじめ、寿命と安定性でも世界のトップをいくフェムト秒レーザーやバイオ用IRレーザーなどを同一光学定盤上に配置し、3次元微細加工用顕微鏡システムをどのレーザーでも共通に使用できるように統合したハイエンドの一体化システムです。このシステムは、以下のメリットをお客様に提供します。
●異なるレーザー照射による比較実験がその場でスピーディに行える
●高額な設備投資をせずに最小限の費用で半歩先を行く微細加工実験にトライできる
●全てのレーザーが自社開発製品なので、多くのパラメータや条件を
自由自在に
コントロールできる
●ほとんどのサンプルに対応できるようステージ周りを工夫しているので、
準備時間が最小限で済み、また余計な費用もほとんど発生しない
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スキャン
ステージ
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ストローク
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スピード
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稼動軸
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真直度
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400mm
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150mm/s
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3軸
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＜2μm
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観察光学系
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CCD
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結像光学系
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オートフォーカス
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サンプル
ホルダー
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真空チャック方式
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ブロー系
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ノズルを用いたN2ガスブロー
（デブリ除去用）
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