■R�UX、R�UY 連続発振近赤外波長レーザー 特徴 ・近赤外波長とシリコン基盤との吸収特性を利用する半導体デバイス検査装置用光源として使用可能 ・検査装置に容易にインストール可能な光ファイバー出力タイプ。インストール時間を30分以内に低減 ・小型ながら検査装置からの反射戻り光をシャットアウトするアイソレーターを搭載し、高精細画像の取得が可能 ・JISで定める振動・衝撃試験をクリアし、搬送が容易 ・パワーレギュレーターにより同一ビーム品質で出力パワー変更可能 ・外部制御インターフェイスを標準装備 ・1.3μm(R�UX)と1.064μm(R�UY)の発振波長を提供 用途 半導体産業向け検査 本製品は、近赤外波長とシリコン基盤との吸収特性を利用する半導体デバイス検査装置用光源として 使用可能です。検査装置に容易にインストールできる光ファイバー出力タイプで、インストール時間を30分 以内に低減しました。 小型ながら検査装置からの反射戻り光をシャットアウトするアイソレータを搭載し、高精細画像の取得が 実現できます。 スペック詳細

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