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特長
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・長寿命
長時間にわたり完全メンテナンスフリー
・優れた耐環境性
筐体剛性を格段に向上させ、ガントリーへの設置など加速度のかかる環境下でも安定したレーザー出力が可能。また、密閉筐体かつ精密な温度制御により周辺環境の影響を受けず、あらゆる環境下で安定な動作を実現
・ニーズとコストの両立を実現したオプション
オプション機能はSPICAシリーズに共通のケースに内蔵されているのでセミオーダーメイド感覚で、ニーズに合わせて本体モジュールに組み合わせが可能。標準品でありながら、お客様ニーズとコストの両立が実現
・幅広い選択性
波長1064/532/355/266nmから選択可能
高エネルギー型のNd:YAGと、高繰り返し型のNd:YVO4の2種から選択可能
・機体によるばらつきの低減
特殊分析法で目視では判別できない不良を検出し、精査した工学部品のみを使用することにより、期待感の性能差を徹底的に低減 |
| 用途 |
マーキング
薄膜除去
切断
半導体他各種微細加工 |
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スピカシリーズは、装置組み込みにも適した完全空冷型のＬＤ励起全固体構成レーザー装置です。高純度のクリーンルームにて組立てられた完全封じ切りのレーザーヘッドは、信頼性が高く安定な使用を可能としております。また内部設置型のパワーモニタを標準搭載しており、新開発の小型精密制御電源装置との組み合わせにより、広範な使い方に対応できます。
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