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特長
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高出力安定化が困難な連続発振レーザーにおいて以下の技術により世界最高出力(ALTAIR-X製品仕様100mW、実験値300mW2)と長時間動作寿命を実現
①高性能な波長ミキシングモジュール
②光学素子の劣化低減技術
③高性能非線形光学結晶(CLBO)の利用技術 |
| 用途 |
半導体産業向け検査(シリコンウェハー、リソグラフィー用マスク)
光ファイバー内屈折率変化(Fiber-Bragg-Grating) |
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アルタイルシリーズは、これまで得ることが困難であった深紫外波長領域の光を安定に供給する全く新しい連続発振レーザー光源です。
深紫外領域の光を発生するレーザー光源は、これまで通信、半導体産業向けに開発されてきましたが、近年はそれらに加え、バイオ産業向けに大変注目されております。
サイバーレーザー社ではこれまで培ってきた深紫外光の発生技術、連続発振光の波長変換技術、産業用途に耐える安定化技術の3つを融合させることにより、新世代のニーズに応える深紫外領域のレーザー光源を提供します。
アルタイルシリーズの提供する特殊波長、高出力化が既存の産業、研究に変革をもたらします。
波長は266nmの他、244nm(50mW)、213nm(50mW)、＜200nm(150mW)にも特注で対応します。
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